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LTPS晶体管开始与硬式OLED制程相似玻璃发挥

LTPS晶体管开始,与硬式OLED制程相似,玻璃发挥着与在前述介绍过的相同优点。必须使用有着纯净表面的高性能显示玻璃载板,确保聚酰亚胺层底下无任何杂粒。较低的TPV及更佳的玻璃厚度公差(TTV)有利于高温沉积和曝光步骤。可挠式OLED的有机沉积步骤与硬式OLED相同,有着相同影响FMM变异量的因素,使用较低TPV和较高杨氏系数的载板,可降低FMM对位的变异量,且较低的TPV亦有利于OLED的使用寿命。雷射剥离步骤是可挠式OLED制程独有的步骤,雷射发出的能量穿过玻璃载板,从载板剥离塑料基板。此步骤需使用有着高UV穿透率且均匀的载板玻璃,来提升良率和显示器质量,如图6所示。图6雷射剥离制程的挑战

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